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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[303]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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459 |
ESC Cooling gas 관련
[1] | 3635 |
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458 |
plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다.
[2] | 3609 |
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457 |
방전에서의 재질 질문입니다.
[1] | 3582 |
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456 |
RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다.
[2] | 3561 |
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455 |
Bias 관련 질문 드립니다.
[1] | 3552 |
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454 |
RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
[1] | 3512 |
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453 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 3490 |
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452 |
코로나 방전의 속도에 관하여...
[1] | 3467 |
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451 |
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 3431 |
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450 |
Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.
[2] | 3375 |
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449 |
PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다.
[1] | 3364 |
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448 |
CVD 공정에서의 self bias
[1] | 3338 |
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447 |
electron energy distribution에 대해서 질문드립니다.
[2] | 3326 |
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446 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 3313 |
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445 |
M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다.
[1] | 3236 |
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444 |
고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이
[1] | 3221 |
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443 |
아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서
| 3175 |
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442 |
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
[1] | 3161 |
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441 |
RF matcher와 particle 관계
[2] | 3160 |
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440 |
Plasma etcher particle 원인
[1] | 3120 |
