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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69024
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93138
455 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3612
454 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3570
453 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3568
452 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3529
451 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3526
450 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3485
449 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3458
448 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3440
447 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3389
446 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3359
445 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3354
444 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3303
443 CVD 공정에서의 self bias [1] 3289
442 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3285
441 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3218
440 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3170
439 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 3149
438 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 3119
437 RF matcher와 particle 관계 [2] 3112
436 Plasma etcher particle 원인 [1] 3103

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