안녕하세요,

재료공학과 연구실에서 연구를 하고 있는 대학원생입니다.

항상 좋은 답변 해주셔서 많은 도움을 받고 있습니다.

 

제가 이번에 Arcing 관련 이슈를 공부하고 있는데,

 

1. DC plasma에서의 arcing과 RF plasma에서의 arcing사이에 어떤 차이가 있는지 궁금합니다.

그리고,

2. RF plasma에서 발생하는 arcing을 줄일 수 있는 방법에는 어떠한 것들이 있는지도 궁금합니다.

 

감사합니다.

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [312] 79211
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21253
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58056
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69610
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94396
463 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [Breakdown 전기장, 아크 방전] [3] 3742
462 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다 [고주파 플라즈마 반응 특성] [2] 3720
461 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [Child-Langmuir sheath model] [2] 3707
460 ESC Cooling gas 관련 [ESC 온도 제어] [1] 3707
459 Bias 관련 질문 드립니다. [Ion plasma frequency] [1] 3633
458 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [하전에 의한 전기장 형성 및 방전 시간] [1] 3612
» RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [Arc와 cleaning] [1] 3610
456 방전에서의 재질 질문입니다. [방전과 전압] [1] 3602
455 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [Plasma impedance와 Matcher] [2] 3510
454 코로나 방전의 속도에 관하여 [코로나 방전의 이해] [1] 3501
453 CVD 공정에서의 self bias [이차 전자 생성, 입사 이온 에너지 분포] [1] 3441
452 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [ONO 공정 중 질화막 모니터링] [2] 3412
451 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [플라즈마 물리/화학적 특성, 중성입자 거동 및 자기장 성질] [1] 3411
450 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [Maxwallian EEDF] [2] 3408
449 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [소수/친수성 조절 연구] [1] 3387
448 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [회로 모델 및 부품 impedance] [3] 3377
447 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [Flow rate와 moral ratio, resident time] [1] 3305
446 RF matcher와 particle 관계 [DC glow 방전, 플라즈마 임피던스] [2] 3301
445 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [DC 글로우 방전 및 Breakdown] [1] 3289
444 Plasma etcher particle 원인 [Particle issue와 wafer의 sheath] [1] 3212

Boards


XE Login