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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
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437 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1335
436 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2349
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3478
434 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 685
433 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1205
432 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2141
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428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 826
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425 Plasma Generator 관련해서요. [1] 912
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422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5936
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1192
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 518
419 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1069
418 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17511
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