ESC 정전척 isolation 문의 입니다.
2013.08.29 16:00
안녕하세요
이번에 정전척부분을 설계하게 되었습니다.
정전척과 cooling plate는 연결되어 있고 그 조립품은 챔버와 isolation시켜야 한다는데 그 이유가 궁금합니다.
또 isolator는 얼마만큼의 두께로 선정해야 하는지 궁금합니다.
isolator의 재질은 ptfe를 사용하려고 합니다.
선정공식이나 선정 근거에 대한 도움부탁드립니다.
안녕히계세요.
댓글 1
-
김곤호
2013.09.13 12:14
기본적으로 정전척은 하나의 전극입니다. 반응기 (chamber) 벽면과 전극은 분명 전기적으로 떨어져야 전력을 인가할 수 있을 것입니다. 또한 절연재는 절연 파괴 전압을 고려하시면 되고 여기서 전압은 설계된 정전척에 인가되는 전압을 허용할 수 있어야 함을 참고하여 관련 재료의 전기적 특성에 대한 정보를 찾아 보세요. 여기서 절연파괴현상은 절연재(PTFE) 뿐만아니라 전극간에 형성된 전기장에서 플라즈마가 개시되는 현상도 절연파괴 전압 (pachen's law: 파션의 법칙)에 준해서 전극에 전력을 인가하게 됩니다. 이에 대해서는 본 난에서 소개한 바 있으니 이를 참고해 보시기 바랍니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76732 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20202 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68701 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
429 | 자기 거울에 관하여 | 1139 |
428 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 824 |
427 | Descum 관련 문의 사항. [1] | 3721 |
426 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 634 |
425 | Plasma Generator 관련해서요. [1] | 911 |
424 | Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] | 1454 |
423 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 446 |
422 | OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] | 5927 |
421 | 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] | 1183 |
420 | 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] | 516 |
419 | 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] | 1066 |
418 | RF 변화에 영향이 있는건가요? | 17510 |
417 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 468 |
416 | RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] | 844 |
415 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 709 |
414 | etching에 관한 질문입니다. [1] | 2261 |
413 | 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] | 3443 |
412 | RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] | 5677 |
411 | DRAM과 NAND에칭 공정의 차이 [1] | 5455 |
410 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 484 |