Others RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
2017.11.09 21:13
안녕하세요,
재료공학과 연구실에서 연구를 하고 있는 대학원생입니다.
항상 좋은 답변 해주셔서 많은 도움을 받고 있습니다.
제가 이번에 Arcing 관련 이슈를 공부하고 있는데,
1. DC plasma에서의 arcing과 RF plasma에서의 arcing사이에 어떤 차이가 있는지 궁금합니다.
그리고,
2. RF plasma에서 발생하는 arcing을 줄일 수 있는 방법에는 어떠한 것들이 있는지도 궁금합니다.
감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76841 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20252 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57192 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68744 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92588 |
| 436 | chamber impedance [1] | 2012 |
| 435 | RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] | 2020 |
| 434 | LF Power에의한 Ion Bombardment [2] | 2047 |
| 433 | Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] | 2054 |
| 432 | doping type에 따른 ER 차이 [1] | 2066 |
| 431 | ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] | 2073 |
| 430 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2137 |
| 429 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2143 |
| 428 | 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] | 2175 |
| 427 | Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] | 2240 |
| 426 |
플라즈마볼 제작시
[1]  | 2246 |
| 425 | 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] | 2247 |
| 424 | ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2251 |
| 423 | N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2255 |
| 422 | etching에 관한 질문입니다. [1] | 2268 |
| 421 | Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] | 2280 |
| 420 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2284 |
| 419 | CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] | 2284 |
| 418 | sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] | 2319 |
| 417 | 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2325 |