안녕하십니까? 교수님, 

 

ALD 챔버를 제작되기 전에 매쳐 설계를 해야 하는 상황이어서 질문 드립니다. 

알루미늄 챔버의 사이즈, 전극사이즈, 웨이퍼사이즈, 전극과 웨이퍼 간격, 압력등의 정보를 가지고 챔버임피던스 계산이 가능 한지요? 

또한 시뮬레이션 하는 툴이 있을까요? 

답변을 부탁 드립니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102663
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24668
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61377
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73449
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105766
473 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [Plasma spectroscopy] [1] 2093
472 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [Plasma chemistry] [3] 2097
471 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [Wafer bias와 chuck cap] [1] 2130
470 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [전기장 내 입자 거동] [2] 2132
469 ICP와 CCP에서의 Breakdown voltage [Breakdown과 E-H transition] [1] 2139
468 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 2156
467 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [Excitation transfer 반응과 방사천이율] [1] 2199
466 PECVD 증착에서 etching 관계 [PECVD 증착] [1] 2199
465 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석] [1] 2224
464 RF FREUNCY와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [CCP와 ionization] [1] 2243
463 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [ER과 self bias] [1] 2272
462 RF 전압과 압력의 영향? [DC glow 방전, Paschen's Law] [1] 2273
461 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [Breakdown voltage 및 이온화 에너지] [1] 2282
460 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [Wave guide 및 matcher position 변화] [1] 2291
459 CVD품질과 RF Delibery power 관계 질문 [RF power와 plasma information] [1] 2306
458 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [군산대학교 주정훈 교수님] [1] 2332
457 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [Ion energy와 heat, sheath energy] [2] 2364
456 RF generator 관련 문의드립니다 [Matcher와 line damage] [3] 2382
455 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [Standing wave 운전 조건, 안테나 설계] [1] 2385
454 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2393

Boards


XE Login