번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76718
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20170
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92273
428 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3507
427 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3443
426 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3443
425 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3411
424 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3407
423 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3382
422 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3323
421 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3322
420 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3296
419 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3271
418 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3202
417 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3191
416 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3178
415 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3165
414 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3162
413 CVD 공정에서의 self bias [1] 3095
412 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3052
411 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2967
410 Plasma etcher particle 원인 [1] 2963
409 RF matcher와 particle 관계 [2] 2915

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