번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [255] 76401
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19989
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57065
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68537
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91253
414 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3432
413 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3354
412 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3343
411 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3320
410 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3296
409 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3290
408 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3285
407 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3247
406 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3160
405 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3128
404 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3126
403 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3115
402 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3107
401 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3073
400 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3020
399 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3019
398 CVD 공정에서의 self bias [1] 2964
397 Plasma etcher particle 원인 [1] 2891
396 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2871
395 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2848

Boards


XE Login