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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68787
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92778
441 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3559
440 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3498
439 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3462
438 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3448
437 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3448
436 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3448
435 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3381
434 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3351
433 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3336
432 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3335
431 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3262
430 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3251
429 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3221
428 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3173
427 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3167
426 CVD 공정에서의 self bias [1] 3161
425 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3063
424 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 3022
423 Plasma etcher particle 원인 [1] 3020
422 RF matcher와 particle 관계 [2] 2993

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