번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5598
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16878
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51346
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64207
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84185
331 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2542
330 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2502
329 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2479
328 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2443
327 PR wafer seasoning [1] 2443
326 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2424
325 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2389
324 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2286
323 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2252
322 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2221
321 임피던스 매칭회로 [1] file 2210
320 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 2206
319 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2200
318 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2187
317 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2180
316 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 2158
315 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2151
314 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2147
313 Plasma etcher particle 원인 [1] 2146
312 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2121

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