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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76723
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20172
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57165
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92273
768 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 232
767 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 123
766 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 80
765 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 169
764 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 318
763 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 351
762 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 197
761 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 205
760 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 547
759 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 547
758 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 136
757 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 405
756 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 189
755 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 250
754 PECVD Uniformity [1] 502
753 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 634
752 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 248
751 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 358
750 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 306
749 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 699

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