번호 제목 조회 수
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 219
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48933
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 56150
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 63558
574 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 144
573 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 145
572 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 3583
571 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 248
570 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 130
569 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 418
568 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 322
567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 318
566 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 3590
565 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 232
564 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 910
563 플라즈마볼 제작시 [1] file 281
562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 982
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 270
560 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 2542
559 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 320
558 알고싶습니다 [1] 192
557 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1026
556 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 177
555 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 189

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