번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48660
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50558
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 56137
549 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 156
548 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 3160
547 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 170
546 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 120
545 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 254
544 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 112
543 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 265
542 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 251
541 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 376
540 플라즈마 살균 방식 [1] 6580
539 표면상태에 따른 코팅 전후 비교(PVD) [2] file 631
538 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 256
537 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 229
536 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 84
535 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 189
534 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 295
533 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 1121
532 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 300
531 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 972
530 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 654

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