번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73074
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17640
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65724
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86100
687 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2289
686 ESC DC 전극 Damping 저항 254
685 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 449
684 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 317
683 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 357
682 RF Sputtering Target Issue [2] file 284
681 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 276
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1023
679 plasma striation 관련 문의 [1] file 266
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 328
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 320
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 268
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 302
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 451
673 Plasma Arching [1] 542
672 Polymer Temp Etch [1] 297
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 550
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 209
669 플라즈마 관련 교육 [1] 860
668 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 449

Boards


XE Login