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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68938
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790 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 145
789 플라즈마 설비에 대한 질문 122
788 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 129
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782 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 217
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