Plasma in general 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무
2023.01.16 16:15
Air나 N2를 활용한 로테이팅 젯 플라즈마로 Tool의 유기오염 제거를 평가 적용하고자 합니다.
해당 Tool은 오염 점착 방지를 위하여 실리콘 수지가 Amu(에이뮤코팅)되어 수um T.를 형성하고 있습니다.
실리콘 수지가 중합체일 것으로 추정되는데 Plasma가 해당 코팅에는 어떤 영향을 줄지 궁금합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76734 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68701 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
769 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 70 |
768 | Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] | 236 |
767 | 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] | 124 |
766 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 80 |
765 | FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 | 169 |
764 | 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] | 320 |
763 | ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] | 352 |
762 | AP plasma 공정 관련 문의 [1] | 198 |
761 | Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] | 207 |
760 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 551 |
759 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 553 |
758 | DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] | 137 |
757 | CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] | 406 |
756 | 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] | 189 |
755 | gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] | 252 |
754 | PECVD Uniformity [1] | 508 |
753 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 638 |
752 | 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] | 249 |
751 | standing wave effect, skin effect 원리 [1] | 363 |
750 | Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] | 309 |
상압 플라즈마에 대한 연구를 수행하는 기관으로 광운대학교의 최은하 교수님 연구 센터를 방문해 보시면 좋습니다. 또는 KFR 의 플라즈마 기술연구소의 김상봉 박사님 연구팀에 문의드려 보시면 좋을 것 같습니다.