안녕하십니까 교수님, 현재 반도체 공정 분야를 전공하고 플라즈마 전공에 대해 관심이 생겨 공부를 하고있는 전자공학과 학부생 4학년 입니다. 다름이 아니라 LXcat에서 Biagi, Bsr, Lisbon, Hayashi, Triniti 총 5가지의 Cross section을 가지고 Comsol Simulation Tool을 통해 플라즈마 방전 시뮬레이션을 진행하였습니다. 그 결과 각 Dataset 마다 Electron density, Electron Temperature, Volatge 등이 각각 다르게 나타나는 결과를 확인할 수 있었습니다.

 

또한 각 Dataset에 대한 Simulation을 진행하였을 때 LXcat에 존재하는 TRINITI Metastable Excitation Cross section을 각 DataSet에 추가하였고 그 결과 Metastable excitation cross section을 추가하지 않았을 때 보다 Electron density는 증가하고 전자온도는 감소하는 것을 확인할 수 있었는데 이러한 결과가 나타나게된 원인이 무엇인지 궁금합니다.

 

다르게 나타난 원인에 대해 고민해본 결과 우선적으로 Set 별로 가지고 있는 Excited State 개수가 다르기 때문에 차이가 발생한 것이라는 결론을 내려보았지만 세부적인 부분에 대해서는 해결을 하지 못하여 이렇게 질문을 드리게 되었습니다. 또한 각각의 Dataset 별로 Electron density, Electron Temperature, Voltage가 다르게 나타나는 이유에 대해 여쭤봐도 되겠습니까?

 

바쁘신 와중에도 긴 글 읽어주셔서 정말 감사드립니다.

 

조형준 올림.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102831
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24683
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61408
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73471
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105819
813 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 484
812 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 366
811 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 344
810 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 461
809 플라즈마 식각 공정 중 폴리머의 거동 [재료 표면 반응] [1] 4924
808 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 401
807 Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다. [RF generator] [2] file 646
806 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 564
805 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포] [1] 432
804 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 288
803 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [Chamber impedance 변화] [1] 754
802 CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [Ar plasma chemical etching] [1] 604
801 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 336
800 ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [플라즈마 생성 공간과 플라즈마 확산] [1] 702
799 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [국부 방전과 chucking] [1] 633
798 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 298
797 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 259
796 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해] [1] 614
795 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 417
794 Druyvesteyn Distribution 370

Boards


XE Login