안녕하세요~

반도체 관련 회사에 종사중으로 항상 이곳에서 많은 도움을 받다가 정말 궁금한게 있어 글 남깁니다

 

제가 알기로는 플라즈마 오프 시, 쉬스 내에 트랩되어있던 파티클들이 중력에 의해 챔버 바닥 혹은 히터/ESC 위에 있는 웨이퍼로 떨어지는 것으로 압니다

이때 1초만에 0으로 뚝 끄던걸 1-2초 혹은 더 이상으로 나눠서 꺼주면 , 즉 ramping 으로 off 하게 되면 (예를 들어 1000-400-0 이런식으로 몇초에 걸쳐 끔)

플라즈마가 약해질수록 엣지쪽 시스가 두꺼워지면서 플라즈마가 완전히 꺼질 시 플라즈마 내 있던 파티클들이 웨이퍼 옆으로 떨어져서 챔버 하부로 빠져나가는 개념으로 알고있는데 제가 알고있는게 맞을지? 아니라면 플라즈마를 나눠서 끌때 파티큹 측면에서 좋은점이 뭘지? 아니면 이론상 파티클과 상관없을지 의견주시면 감사하겠습니다!!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76437
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19997
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57070
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68543
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91344
757 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 349
756 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 173
755 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 220
754 PECVD Uniformity [1] 395
753 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 544
752 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 218
751 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 258
750 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 281
749 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 607
748 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 363
747 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 632
746 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 596
745 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 338
744 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 290
743 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 271
742 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 468
741 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 366
740 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 359
739 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 577
738 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 382

Boards


XE Login