안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.

하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..

그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,

그에 대한 화학반응식이 무엇인지  공부 하고 싶은데

혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.


만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] 75788
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19473
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56680
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68068
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90361
154 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] newfile 464
153 RF Sputtering Target Issue [2] newfile 471
152 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] new 478
151 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] new 508
150 기판표면 번개모양 불량발생 [1] new 511
149 Polymer Temp Etch [1] new 554
148 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] new 556
147 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] new 567
146 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] newfile 603
145 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] new 624
144 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] new 631
143 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. new 654
142 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] new 669
141 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] new 672
140 ICP 후 변색 질문 new 686
139 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] new 694
138 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] new 745
137 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] new 766
136 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] newfile 785
135 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] new 797

Boards


XE Login