번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [338] 219174
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 63551
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 100530
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 112609
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 188427
174 플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅] 23052
173 펄스바이어스 스퍼터링 답변 23020
172 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 22288
171 plasma cleanning에 관하여 [Sputtering과 Etch] 21756
170 wafer 전하 소거: 경험 있습니다. 21407
169 Full Face Erosion 관련 질문 [2] 21383
168 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 21359
167 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [공정 용법] [1] 21349
166 RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 21321
165 DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 [플라즈마 부유 전위] 20649
164 DC SPT 문의 [절연체의 전위] 20592
163 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 [코로나 방전, 먼지 집진] 20468
162 플라즈마를 이용한 박막처리 20443
161 플라즈마의 환경이용 19620
160 물리적인 sputterting 19245
159 sputtering 19232
158 Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? [Splash와 TG Maker] 19046
157 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 [Capacitance와 DC ripple] 19018
156 증착에 대하여... 19016
155 Plasma of Bio-Medical Application 18833

Boards


XE Login