안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] 3647
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15336
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50576
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62991
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82102
649 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 274
648 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 275
647 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 275
646 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 283
645 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 286
644 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 291
643 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 313
642 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 323
641 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 323
640 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 329
639 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 329
638 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 333
637 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 337
636 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 337
635 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 338
634 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 340
633 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 341
632 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 344
631 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 344
630 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 346

Boards


XE Login