Chamber Impedance Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
2022.09.27 13:01
안녕하세요.
저는 RF Generator의 power amlifier를 연구하고 있는 학생입니다.
Load impedance를 50 ohm으로 설계를 했는데 matcher가 없을 때의 power amlifier의 성능을 확인하고자 합니다.
Chamber impedance의 범위가 어떻게 되는지 질문드립니다.
감사합니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [158] | 72996 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17585 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55512 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65686 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86013 |
685 |
RF Sputtering Target Issue
[2] ![]() | 276 |
684 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 279 |
683 |
진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문
[1] ![]() | 283 |
682 | Polymer Temp Etch [1] | 288 |
681 |
RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계
[1] ![]() | 297 |
680 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 306 |
679 | Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 | 310 |
678 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 314 |
677 | 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] | 315 |
» | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 321 |
675 |
염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다.
[1] ![]() | 327 |
674 | H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] | 327 |
673 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 330 |
672 |
입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
![]() | 337 |
671 | KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] | 342 |
670 | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 343 |
669 | Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] | 344 |
668 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 359 |
667 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 362 |
666 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 363 |