Screenshot_20230728_003604_Gallery.jpg

 

20230725_103106.jpg

 

20230725_103101.jpg

 

20230725_105354.jpg

 

20230727_190514.jpg

 

안녕하세요 지난 번 질문 드렸던 디스플레이 관련 대학원생입니다.

현재는 RF sputter의 MFC 및 power 등은 정상 작동하며 Ar 플라즈마까지 보라빛을 잘 띄고 있습니다.

문제는 플라즈마는 뜨는데 증착이 전혀 진행이 되지 않습니다.

Al을 타겟으로 사용하고 있는데 타겟의 문제가 있는가 싶어 새 것으로 교체해 보았지만 프리 스퍼터링 30분 스퍼터링 30분을 진행해도 플라즈마에 의해 타겟이 깎인 부분도 전혀 없이 원래 상태 그대로이며 그에 따라 시편에도 Al이 증착되지 않고 깨끗한 상태입니다.

조건이 잘못된 것인지 플라즈마는 뜨는데 왜 증착은 되지 않는지 고민이 되어 자문을 구해봅니다.

현재 스퍼터 및 플라즈마 상태는 첨부한 이미지와 같습니다.

두 번째 이미지는 anode shield를 분리 후 찍은 것입니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76696
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20153
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68681
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92220
767 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 165
766 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 166
765 corona model에 대한 질문입니다. [1] 169
764 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 170
763 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 184
762 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 186
761 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 191
760 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 194
759 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 196
758 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 201
757 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 204
756 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 213
755 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 224
754 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 225
753 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 226
752 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 245
751 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 248
750 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 249
749 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 272
748 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 290

Boards


XE Login