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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [267] 76709
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20160
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57160
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68683
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92236
162 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 400
161 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 423
160 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 467
159 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 471
158 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 485
157 PECVD Uniformity [1] 493
156 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 504
155 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 540
154 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 544
153 RF Sputtering Target Issue [2] file 593
152 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 603
151 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 605
150 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 611
149 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 636
148 Polymer Temp Etch [1] 659
147 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 668
146 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 694
145 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 694
144 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 707
143 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 723

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