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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5833
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17290
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53125
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64508
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85120
134 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 538
133 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 557
132 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 583
131 ICP 후 변색 질문 603
130 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 603
129 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 618
128 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 641
127 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 642
126 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 669
125 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 680
124 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 706
123 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 726
122 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 733
121 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 801
120 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 871
119 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 879
118 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 914
117 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 927
116 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 932
115 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 943
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