Etch O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
2020.10.28 15:20
안녕하십니까
반도체 소재 회사에 다니고 있는 노은수 입니다.
궁금한게 있어서 문의 드립니다.
O2 etch 후 gas의 접촉면과 닿은 polymer에서 아래의 그림과 같이 손톱모양으로 변성(?)이 되는 현상이 있는데 왜 이러한 현상이 발생 하는지 알고 싶습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
162 | 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] | 403 |
161 | PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] | 423 |
160 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 471 |
159 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 472 |
158 | remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] | 495 |
157 | PECVD Uniformity [1] | 508 |
156 | Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] | 521 |
155 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 542 |
154 | Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] | 547 |
153 | RF Sputtering Target Issue [2] | 598 |
152 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 604 |
151 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 609 |
150 | ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] | 616 |
149 | Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] | 636 |
148 | Polymer Temp Etch [1] | 663 |
147 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 669 |
146 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 694 |
145 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 696 |
144 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 716 |
143 | ICP 후 변색 질문 | 726 |