Others RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동

2009.08.05 12:52

조정안 조회 수:24773 추천:241

수고가 많으십니다.
저희 회사는 반도체, LCD장비 제작 회사들로 Motion Controller와 Servo ,Step Motor등을 공급하는 회사입니다.
업체 상담중에 문의사항이 있어서 조언을 구하고자 질문을 올려 드립니다.
Sputter 장비의 vacuum정도는 10 -3 torr, 공정온도는 약 100 도 정도입니다. Chamber내부에서 Motion을 구현 하고자 합니다. Chamber내부에 Vacuum용 모터를 사용하고자는데  RF 플라즈마에 의한 노이즈로 Motor 사용에 대한 부분을 우려하고 있습니다. 일반적으로 Chamber 외부로 Motion부분을 빼내어 메탈 벨로우즈를 이용한 방법으로 Motion을 사용한다고 하는데, Vacuum용 Motor를 RF 플라즈마 챔버내에서 사용하는 것이 가능한지 가능하다면 어떤 방법이 있는지 답변 부탁드립니다.
그럼 수고하십시요.

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76739
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20211
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68703
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92294
769 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 159
768 corona model에 대한 질문입니다. [1] 169
767 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 169
766 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 171
765 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 171
764 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 183
763 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 186
762 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 189
761 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 198
760 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 206
759 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 209
758 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 214
757 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 216
756 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 218
755 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 225
754 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 229
753 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 238
752 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 249
751 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 251
750 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 252
쓰기
태그

Boards

XE Login