Plasma in general RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power]

2024.02.23 10:12

별의목소리 조회 수:400

안녕하세요.

generator에는 A, B, AB, C ,D Class중 주로 어떤 class를 사용하나요?

이유도 궁금합니다..^^;;

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103325
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24716
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61526
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73520
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105953
814 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 377
813 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 383
812 DC Arc Plasma Torch 관련 문의 [1] 384
» RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 400
810 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 402
809 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 406
808 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 409
807 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마] [1] file 416
806 RF ROD 연결부 부하로 인한 SHUNT, SERIES 열화 [2] file 417
805 CCP 장비 하부 전극 dc 펄스 전력 [1] 420
804 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [초고밀도 플라즈마] [1] file 424
803 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 425
802 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 426
801 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 429
800 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 430
799 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포] [1] 433
798 AP plasma 공정 관련 문의 [OES 활용 장비 플라즈마 데이터 분석] [1] 436
797 liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다. [1] 440
796 ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해] [1] 443
795 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 451
쓰기
태그

Boards

XE Login