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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[1]
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529 |
matching box에 관한 질문
[1] | 26997 |
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528 |
RF에 대하여...
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527 |
플라즈마와 자기장의 관계
| 26428 |
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526 |
탐침법
| 26347 |
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525 |
플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항
| 26272 |
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524 |
Self Bias
| 26154 |
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523 |
sheath와 debye shielding에 관하여
| 25982 |
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522 |
ECR plasma 장비관련 질문입니다.
[2] | 25717 |
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521 |
Arcing
[1] | 25666 |
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520 |
플라즈마 챔버 의 임피던스 관련
[1] | 25598 |
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519 |
이온과 라디칼의 농도
 | 25508 |
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518 |
DBD란
| 25381 |
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517 |
공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제...
[2] | 25296 |
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516 |
대기압 플라즈마
| 25204 |
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515 |
self bias (rf 전압 강하)
| 24785 |
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514 |
충돌단면적에 관하여
[2] | 24679 |
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513 |
Ground에 대하여
| 24543 |
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512 |
플라즈마를 이용한 오존 발생장치
| 24290 |
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511 |
RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동
[1] | 24270 |
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510 |
PECVD 매칭시 Reflect Power 증가
[2] | 24159 |
