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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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494 |
플라즈마와 자기장의 관계
| 26223 |
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493 |
RF에 대하여...
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492 |
탐침법
| 26148 |
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491 |
플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항
| 26126 |
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490 |
ECR plasma 장비관련 질문입니다.
[2] | 25630 |
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489 |
sheath와 debye shielding에 관하여
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488 |
이온과 라디칼의 농도
 | 25340 |
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487 |
Arcing
[1] | 25265 |
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486 |
공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제...
[2] | 25170 |
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485 |
self bias (rf 전압 강하)
| 24575 |
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484 |
충돌단면적에 관하여
[2] | 24474 |
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483 |
Self Bias
| 24438 |
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482 |
DBD란
| 24386 |
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481 |
RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동
[1] | 24215 |
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480 |
Ground에 대하여
| 24155 |
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479 |
PECVD 매칭시 Reflect Power 증가
[2] | 24071 |
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478 |
스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다..
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477 |
ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의
[1] | 23946 |
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476 |
dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐
[2] | 23904 |
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475 |
Reflrectance power가 너무 큽니다.
[1] | 23832 |
