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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72692
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800 플라즈마를 이용한 오존 발생장치 [Ozone과 Plasma] 29229
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796 sheath와 debye sheilding에 관하여 [전자와 이온의 흐름] 28350
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