Deposition Compressive한 Wafer에 대한 질문
2023.06.03 11:56
현재 반도체회사에서 CVD 엔지니어로 근무중에 있습니다.
최근 CuSi 공정에서 지속적으로 Thickness에 문제가 발생하여 Wafer Map을 확인하게 되면 Compressive한 Map으로 관찰되고 있습니다.
Wafer를 Compressive하게 변화하게 만드는 source가 대부분 어떤게 있는지 알 수 있을까요? (Ex. AlF, Plasma, Temp ETC)
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76871 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20273 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68751 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92694 |
777 | RF에 대하여... | 32040 |
776 | ICP 플라즈마에 관해서 [2] | 32020 |
775 | RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. | 31683 |
774 | DC Bias Vs Self bias [5] | 31568 |
773 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. | 30047 |
772 | 플라즈마 밀도 | 30011 |
771 | PECVD에서 플라즈마 damage가 발생 조건 | 29767 |
770 | matching box에 관한 질문 [1] | 29683 |
769 | 플라즈마의 정의 | 29485 |
768 | 물질내에서 전하의 이동시간 | 29402 |
767 | [Sputter Forward,Reflect Power] [1] | 29275 |
766 | OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] | 28963 |
765 | 플라즈마를 이용한 오존 발생장치 | 28938 |
764 | Arcing [1] | 28661 |
763 | 반도체 관련 질문입니다. | 28580 |
762 | 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] | 28553 |
761 | 플라즈마와 자기장의 관계 | 28383 |
760 | esc란? | 28088 |
759 | sheath와 debye shielding에 관하여 | 27873 |
758 | 탐침법 | 27863 |