번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73031
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17616
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55516
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86027
33 Plasma etcher particle 원인 [1] 2315
32 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2249
31 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2138
30 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1988
29 etching에 관한 질문입니다. [1] 1761
28 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1664
27 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 1654
26 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 1563
25 터보펌프 에러관련 [1] 1559
24 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 1495
23 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 1390
22 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1352
21 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1308
20 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1287
19 doping type에 따른 ER 차이 [1] 1260
18 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1072
17 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1030
16 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1021
15 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 979
14 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 906
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