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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65694
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325 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 539
324 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1665
323 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7403
322 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1111
321 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1287
320 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 4102
319 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 5097
318 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 6464
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 5724
316 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2130
315 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3147
314 Ar plasma power/time [1] 1266
313 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3265
312 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 15752
311 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1278
310 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 6231
309 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1632
308 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 9621
307 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 3244
306 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 756

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