30 kW급 공동형 (양 극 모두 구리) 플라즈마 토치를 운전하는데, 음극에서 구리 소모가 상당히 심하네요. 원래 음압에서 운전하도록 설계된 토치인데, 저희는 약간의 양압 상태에서 운전하고 있습니다. 0.2 bar정도...

플라즈마 소스는 알곤가스를 사용합니다. 냉각은 13도로 들어가서 15도 정도로 나오니... 잘 되는 것 같은데.... 구리가 많이 나오네요.

이런 경우는 어떤 대처가 필요할 까요? 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 103146
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24696
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61484
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73500
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105910
453 ESC Cooling gas 관련 [ESC 온도 제어] [1] 3972
452 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1215
451 플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films] [1] 1237
450 산소 양이온의 금속 전극 충돌 현상 [플라즈마 표면 반응] [1] 2814
449 수중방전에 대해 질문있습니다. [플라즈마 생성 및 방전] [1] 783
448 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속] [4] 1605
447 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단] [1] 1039
446 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 1167
445 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 1203
444 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1224
443 Frequency에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [전자와 이온의 열운동 특성과 반응 거리] [1] 796
442 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance] [1] 1975
441 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시] [1] file 677
440 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [대면 재료의 전기적 특성와 플라즈마 쉬스의 변화] [3] 727
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2479
438 Pecvd장비 공정 질문 [Dusty plasma와 벽면 particle 제어] [1] 2100
437 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 1622
436 DRY Etcher Alarm : He Flow 관점 문의 드립니다. [O ring 결합부 근처 leak detect] [1] 2912
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [Gas별 고유한 플라즈마 색] [1] 4332
434 RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제] [1] 1034

Boards


XE Login