Others 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상
2019.01.24 13:33
안녕하십니까.
산소양이온이 금속전극을 충돌하면, 산소양이온은 무엇으로 변하는지 궁금합니다.
1) 금속표면바로아래의 전자가 터널링에 의하여 나와서 산소양이온과 결합 하여 산소분자로 환원이 되는지?
- 산소분자로 환원이 된다면, metastable 상태를 거쳐서 산소분자가 되는지..
2) 전자과 결합하는 과정에서 산소원자들이 생성이 되는지?
자료를 찾을 수가 없어서 문의드립니다.
오늘도 좋은 하루 되세요. 감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] | 75777 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19464 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56675 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68054 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90353 |
378 | VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] | 2736 |
377 | Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] | 2720 |
376 | Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] | 2684 |
375 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2676 |
374 |
임피던스 매칭회로
[1] ![]() | 2675 |
373 | PR wafer seasoning [1] | 2650 |
372 | 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] | 2618 |
371 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2577 |
» | 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] | 2554 |
369 | 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] | 2508 |
368 | RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] | 2473 |
367 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1] ![]() | 2465 |
366 | 질문있습니다. [1] | 2453 |
365 | RF matcher와 particle 관계 [2] | 2424 |
364 | 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] | 2366 |
363 | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2364 |
362 | 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] | 2362 |
361 | 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] | 2348 |
360 | Ta deposition시 DC Source Sputtreing | 2343 |
359 | Load position 관련 질문 드립니다. [1] | 2341 |
좋은 질문입니다. 전북대학교 화공과에 임연호 교수님께 문의드려 보시면, 아마도 해석적인 설명과 자료를 구하실 수 있을 것입니다.
아울러 플라즈마 내의 반응을 고려한 표면 반응에 대해서 설명하는 자료로서, "Principles of Plasma Discharges and Materials Processing" 2nd by M.A. Lieberman and A.J. Lichtenberg (Wiley 2005) Chapter 9가 좋은 자료가 될 것 같습니다.