번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] 75427
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19163
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56479
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67558
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89368
368 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2948
367 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3006
366 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3046
365 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3050
364 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3078
363 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3129
362 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 3136
361 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3137
360 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3149
359 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3151
358 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3187
357 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3204
356 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3212
355 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3298
354 ESC Cooling gas 관련 [1] 3301
353 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3318
352 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3346
351 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3389
350 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3407
349 Descum 관련 문의 사항. [1] 3462
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