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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 50578 |
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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289 |
plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다.
[2] | 1911 |
288 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 1909 |
287 |
Wafer particle 성분 분석
[1] | 1891 |
286 |
dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 1887 |
285 |
sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
[1] | 1875 |
284 |
플라즈마볼 제작시
[1] | 1843 |
283 |
plasma etching을 관련 문의드립니다.
[1] | 1785 |
282 |
가입인사드립니다.
[1] | 1785 |
281 |
Load position 관련 질문 드립니다.
[2] | 1782 |
280 |
Si Wafer Broken
[2] | 1782 |
279 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 1766 |
278 |
RPS를 이용한 SIO2 에칭
[1] | 1747 |
277 |
Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련.
[1] | 1736 |
276 |
13.56MHz resonator 해석 관련 문의
[1] | 1702 |
275 |
플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다.
[1] | 1687 |
274 |
CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다
[1] | 1682 |
273 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 1656 |
272 |
chamber impedance
[1] | 1635 |
271 |
3 stub 정합에 대해 궁금합니다.
[1] | 1580 |
270 |
PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성....
[1] | 1568 |