번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64491
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85106
318 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2211
317 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2209
316 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2185
315 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2178
314 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2158
313 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2157
312 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 2113
311 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2109
310 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2078
309 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2076
308 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2042
307 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2023
306 Wafer particle 성분 분석 [1] 2016
305 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2003
304 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1993
303 플라즈마볼 제작시 [1] file 1975
302 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1966
301 Si Wafer Broken [2] 1966
300 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 1957
299 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1939
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