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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[143]
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Ta deposition시 DC Source Sputtreing
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317 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 2209 |
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RIE에 관한 질문이 있습니다.
[1] | 2185 |
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플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는?
| 2178 |
314 |
RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
| 2158 |
313 |
수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다.
[3] | 2157 |
312 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 2113 |
311 |
안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
[2] | 2109 |
310 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 2078 |
309 |
부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리
[1] | 2076 |
308 |
Load position 관련 질문 드립니다.
[1] | 2042 |
307 |
양극 코로나 방전에 대한 질문입니다.
[1] | 2023 |
306 |
Wafer particle 성분 분석
[1] | 2016 |
305 |
sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
[1] | 2003 |
304 |
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 1993 |
303 |
플라즈마볼 제작시
[1] | 1975 |
302 |
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
[1] | 1966 |
301 |
Si Wafer Broken
[2] | 1966 |
300 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 1957 |
299 |
Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련.
[1] | 1939 |