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394 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2774
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389 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2684
388 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2659
387 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2592
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384 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2565
383 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2563
382 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2544
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379 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2438
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