Collision MFP에 대해서..

2012.04.12 08:57

SPL 조회 수:7823

안녕하세요 조성운입니다.

 plasma 내 존재하는 particle의 반경과 압력을 알때 MFP는 1/ nr(n 밀도, r 충돌 단면적)로 계산할 수 있다고 합니다.

플라즈마에 존재하는 다양한 radicals의 MFP를 계산하기 위해서는 모든 종의 충돌 단면적을 알아야 가능한데,

혹시 F, CF, CF2, CF3 의 충돌단면적을 알 수 있는 방법이 없을까요??

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76729
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20191
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68701
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92278
409 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2325
408 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2327
407 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2332
406 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2343
405 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2360
404 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2380
403 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2396
402 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2432
401 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2437
400 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2453
399 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2476
398 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2493
397 Si Wafer Broken [2] 2511
396 질문있습니다. [1] 2572
395 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2579
394 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2581
393 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2633
392 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2644
391 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2686
390 PR wafer seasoning [1] 2701

Boards


XE Login