안녕하세요

상압 플라즈마와 관련하여 몇가지 문의 드릴려고 합니다.

1. 헬륨 가스를 이용하여 상압 플라즈마를 발생 시켰을때, 헬륨 이온이 생성 될때 발생하는

    전자로 인하여 공기중의 다른 원소들이 이온화 된다고 알고 있습니다. 그럼 이온화된

    헬륨은 인체 또는 공기에 어떤 영향을 끼치는지 문의 드립니다.

 

2. 텅스텐을 세라믹으로 감싼 전극과 아노다이징 된 알루미늄 사이(0.5mm)에 물 미립자를 통과 시켜서

    -OH 라디칼 이온을 만들려고 했는데, 오존이 종종 발생 됩니다. 전극에서 전달된 에너지가

    -OH 라디칼 이온과 오존 중 어떤 걸 먼저 만들어 내는지 알 수 있을까 해서요..

 

우선은 두가지 문의 드립니다.

제 이메일 주소는 vngkgk11@gmail.com 입니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2357
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 12901
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49616
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61111
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 79588
279 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8176
278 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3933
277 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 6997
276 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8261
275 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 7418
274 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 8429
273 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6403
272 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6104
271 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 8999
270 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6289
269 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 9755
268 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6282
267 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6145
266 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8258
265 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8317
264 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6070
263 VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] 51574
262 수중플라즈마에 대해 [1] 8241
261 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 11824
» 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 7849

Boards


XE Login