지나가다 답변드립니다.

플라즈마가 발생하지 않은 상태는 플라즈마의 임피던스 실수 값이 0에 가깝습니다.

플라즈마가 발생하는 과정에서 실수값이 생기면서 허수값도 변하게 됩니다.

중요한 것은 플라즈마가 발생하기 전과 발생한 후의 임피던스 차이 인데

이 임피던스의 차이가 전혀 없을 수는 없습니다.

이 임피던스가 변하는 것을 모터가 쫗아가는데 1초가 걸리신다고 보시면 됩니다.

근래에는 다양한 방법으로 이 시간을 최소화 하고 있습니다만 운용하시는 장비에서 큰 성능 차이는 없을 것으로 사료됩니다.

위의 설명과 같이 전원-정합기(matcher)로 전달되는 전력이 전극을 통해서 플라즈마(부하:load)로 전달되도록 공정장치는 설계되어 있는 장비입니다. 따라서 플라즈마를 부하(load)로 인식하는 시스템이니, 플라즈마가 생성되거나 생성되지 않았을때의 정합기의 최적 정합 조건, 즉 tune/load Cap position은 다를 수 밖에 없습니다. 부하 임피던스는 주로 플라즈마의 밀도와 플라즈마와 입자간의 충돌빈도수에 따르는 함수로서 플라즈마가 생성되기 전/후의 부하(플라즈마)임피던스는 매우 큰 변화를 갖게 됩니다. 또한 압력을 변화시키면서 플라즈마 밀도의 증가/감소가 일어나서 역시 임피던스의 미세 변동이 일어나게 될 것입니다.

한가지 문제는 정합시간에 대한 문제인데, 이는 여러 관점에서 생각해 볼 수 있습니다. 일단 전력 부하인 플라즈마의 밀도에 관계된다는 위의 관점으로 보면 플라즈마가 안정화 되는 시간과 관계가 될 것이고, 플라즈마 안정화란 플라즈마 생성과 소멸의 균형에서 판단할 수가 있겠습니다. 특히 소멸이 주로 벽을 통해서 일어나게 되어, 이 특징은 생성 (이온화 시간- 매우 짧습니다.) 특성 보다는 소멸의 특성으로 반응기가 갖는 고유 특성 (장비 설계 특성)으로 판단해 볼 수가 있겠습니다. 아마도 정합기는 이런 특성을 고려하고, 정합기의 구동 특성 (즉 step motor의 반응특성)을 고려해서 예상 위치로 빠르게 전개되도록 정합기 알고리즘이 만들어질 것이고, 따라서 정합기의 정합기 능력이 이 시간을 조금이라도 빠르게, 즉 플라즈마를 안정화 시키도록 해 주는 역할을 함으로써, 강제적인 안정화를 이룰 수가 있을 것입니다. 한마디로 정합기 고유 성능이라고자 할 수가 있겠습니다.

따라서 위의 특성은 반응기 및 정합기가 갖는 고유 특성에 준한다고 판단해 볼 수가 있겠고, 플라즈마 생성 전/후 와 운전 주파수 변동, 전력 변동 --> 플라즈마 밀도 변화, 및 압력 변동 (및 개스 성분 - 몰비 변화 및 가스 종 변화)에 따라서도 정합 위치의 변화는 당연한 것이겠습니다.

참고가 되셨으면 합니다.