CCP CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [유전체 격벽 방전]

2016.12.15 13:35

4차원 조회 수:7935

안녕하세요?

제가 알기로는 CCP는 두 전극사이에서 플라즈마가 일어나는 것으로 알고 있는데, 만약 두 전극 사이에 유전체가 속해진다면, 이 유전체가 어떠한 역할을 하는지 알고 싶습니다. 

http://plasma.ee.pusan.ac.kr/xe/sou

위의 사이트에서 보니깐 CCP에 유전체가 원래 있는 것처럼 보이는데, 웹에서 다른 내용을 보면 유전체 이야기는 없는, 단지 두 개의 평행한 전극만 이야기하는 내용도 있어서 궁금해서 글을 올립니다.

감사합니다. 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 103208
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24699
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61497
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73508
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105923
453 ESC Cooling gas 관련 [ESC 온도 제어] [1] 3973
452 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1215
451 플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films] [1] 1237
450 산소 양이온의 금속 전극 충돌 현상 [플라즈마 표면 반응] [1] 2814
449 수중방전에 대해 질문있습니다. [플라즈마 생성 및 방전] [1] 784
448 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속] [4] 1605
447 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단] [1] 1039
446 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 1167
445 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 1204
444 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1224
443 Frequency에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [전자와 이온의 열운동 특성과 반응 거리] [1] 796
442 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance] [1] 1977
441 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시] [1] file 677
440 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [대면 재료의 전기적 특성와 플라즈마 쉬스의 변화] [3] 727
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2479
438 Pecvd장비 공정 질문 [Dusty plasma와 벽면 particle 제어] [1] 2104
437 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 1622
436 DRY Etcher Alarm : He Flow 관점 문의 드립니다. [O ring 결합부 근처 leak detect] [1] 2912
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [Gas별 고유한 플라즈마 색] [1] 4334
434 RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제] [1] 1034
쓰기
태그

Boards

XE Login