DC glow discharge 플라즈마 압력에 대하여

2017.11.10 11:27

physw35 조회 수:2763

안녕하세요 현재 2차원물질 공정을 연구하는 석사과정 대학원생입니다.

이 공정중에는 플라즈마 처리가 있는데요

power가 커짐에 따라 챔버내부의 빛도 밝아지는 것을 볼수 있는 반면에

압력을 30에서 120mTorr으로 증가시켰을때는 어두워지는 것을 관찰하였습니다.

power와 마찬가지로 압력도 밝기에 비례할것이라고 예상하였는데 어떤 이유가 있는지 궁금합니다.


감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78037
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20846
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93631
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2373
438 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1749
437 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1370
436 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2452
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3655
434 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 746
433 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1277
432 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2215
431 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 524
430 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 622
429 자기 거울에 관하여 1158
428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 850
427 Descum 관련 문의 사항. [1] 3860
426 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 680
425 Plasma Generator 관련해서요. [1] 922
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1482
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 470
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5991
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1227
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 534
쓰기
태그

Boards

XE Login