ESC Si Wafer Broken

2018.08.01 11:16

장영구 조회 수:2537

안녕하세요. 반도체회사에 다니고 있습니다.

Plasma와 연관성이 없을 수 있는 질문인데요..

Si Wafer가 ESC Chucking  Voltage의 Damage(??)에 의해 Edge Broken이 발생할 수 있는지 궁금합니다. (2500v)

ESC를 사용하다가 1년 이상되면 Broken이 발생하고, Broken 주기는 점점 빨라집니다.

ESC의 오랜 사용에 의한 노화 현상은 맞는거 같은데 어떤 영향성으로 발생하는지 궁금해서요...(ESC 교체시 정상되네요)

Plasma On/Off와는 연관성이 없었습니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76871
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
417 Wafer particle 성분 분석 [1] 2331
416 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2335
415 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2337
414 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 2338
413 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2340
412 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2343
411 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 2344
410 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2349
409 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2352
408 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2356
407 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2361
406 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2362
405 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2362
404 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2399
403 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2435
402 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2442
401 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2451
400 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2491
399 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2492
398 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2519

Boards


XE Login