Others 질문있습니다.

2019.09.30 19:03

sungsustation 조회 수:2572

플라즈마 기초부분에서 에너지 분포와 이온화에 대한 질문입니다.

전자온도와 이온화 에너지가 주어져 있을때 에너지 분포(EEDF)를 이용한다면 전자의 약 %가 이온화에 기여하는지 어떻게 알 수 있는지요?

<구체적인 식이 궁금합니다. 예를 들어 전자온도가 3V , 이온화에너지가 약 15V라 한다면)

일정한 부피에 전자의 갯수가 정해져있을때 온도의  단위가 V(볼트)로 주어진다면 운동에너지를 어떻게 구할 수 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76739
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20207
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68703
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92294
409 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2326
408 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2327
407 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2334
406 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2343
405 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2360
404 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2382
403 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2397
402 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2433
401 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2438
400 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2455
399 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2478
398 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2493
397 Si Wafer Broken [2] 2512
» 질문있습니다. [1] 2572
395 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2580
394 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2581
393 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2636
392 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2644
391 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2686
390 PR wafer seasoning [1] 2701

Boards


XE Login