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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68521
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391 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2564
390 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2581
389 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2657
388 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2668
387 PR wafer seasoning [1] 2685
386 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2711
385 RF matcher와 particle 관계 [2] 2746
384 임피던스 매칭회로 [1] file 2755
383 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2767
382 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2817
381 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2822
380 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2843
379 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2864
378 Plasma etcher particle 원인 [1] 2881
377 CVD 공정에서의 self bias [1] 2950
376 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 2999
375 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3012
374 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3064
373 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3091
372 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3104

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