|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[329]
| 100209 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 24182 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 60807 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 72779 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 104309 |
|
453 |
RF generator 관련 문의드립니다 [Matcher와 line damage]
[3] | 2344 |
|
452 |
안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [N2 플라즈마]
[1] | 2359 |
|
451 |
플라즈마 에칭과 표면처리의 차이점 질문드립니다. [Cleaning, sputter etching, RIE]
[1] | 2371 |
|
450 |
양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성]
[1] | 2377 |
|
449 |
RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
| 2385 |
|
448 |
[질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [OES, VI 신호 및 가상계측 인자]
[2] | 2385 |
|
447 |
플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문있습니다. [이온과 전자의 속도 차이와 Gate valve의 위치]
[1] | 2400 |
|
446 |
chamber impedance [장비 임피던스 데이터]
[1] | 2426 |
|
445 |
플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는?
| 2459 |
|
444 |
식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [소자 식각 데미지]
[1] | 2461 |
|
443 |
Ta deposition시 DC Source Sputtreing
| 2462 |
|
442 |
플라즈마 관련 기초지식 [DC glow discharge]
[1] | 2512 |
|
441 |
압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [MFC와 residence time]
[1] | 2519 |
|
440 |
analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리]
[1] | 2526 |
|
439 |
CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [Plasma information variable model]
[1] | 2539 |
|
438 |
플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다. [Experiment와 KFE]
[1] | 2550 |
|
437 |
부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해]
[1] | 2556 |
|
436 |
Remote Plasma가 가능한 이온 [Remote plasma와 diffusion]
[1] | 2557 |
|
435 |
PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD]
[1] | 2560 |
|
434 |
플라즈마볼 제작시 [전기장 형성 및 플라즈마 방전]
[1]  | 2578 |
