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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
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DRAM과 NAND에칭 공정의 차이
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코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다.
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RF Vpp 관련하여 문의드립니다.
[1] | 5207 |
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안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다.
[3] | 5296 |
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RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이
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RF calibration에 대해 질문드립니다.
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모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의
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OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다.
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Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다.
[2] | 5834 |
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O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154
[1] | 5959 |
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자료 요청드립니다.
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O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다.
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저온 플라즈마에 관해서
[1] | 6172 |
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313 |
공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제
[2] | 6250 |
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RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다
[2] | 6267 |
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311 |
플라즈마 데미지에 관하여..
[1] | 6279 |
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플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의..
[1] | 6284 |
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액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다!
[1] | 6339 |
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308 |
플라즈마 기술관련 문의 드립니다
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