안녕하세요..

저는 반도체회사에 근무하는 직장인입니다

RF Generator와 Impedance 관련 궁금한 것이 있어 자문을 얻고자합니다

 

현재 CVD 공정에서 일하고 있으며, ICP 설비를 다루고 있는데,

동일한 설비이나 Turbo Pump Model이 달라(RPM이 다름) 동일한 Gas 량을 Chamber에 넣어도 Chamber Pressure에 차이가 납니다

실제 공정진행 시 4.7mT,  6.7mT로 약 2mT 차이가 발생하는데요..

이러한 경우에 챔버의 Impedance에도 차이가 나는지, 또 차이가 난다면 어느정도가 나는지 알고 싶습니다.

 

또 하나는 RF Generator에 관한 질문인데요..

RF Generator는 2MHz를 사용하며, 3000KW출력을 내는 4개의 P/A Board로 구성되어 있어 최대 12000KW 출력을 낼수 있습니다.

P/A Board간의 Current Ballance가 중요하다고 하는데, 왜 중요한지 알고 싶으며,

현재 P/A Board 의 발열에 의한 Burnning 문제가 있는데, 이 Board 간 Current Ballance가 발열에도 영향을 미치는지 알고 싶습니다.

 

수식으로 설명이 가능하다면 더 이해가 잘 될 거 같은데.. 답변 부탁드립니다.

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103405
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24722
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61548
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73527
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105978
454 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [Standing wave 운전 조건, 안테나 설계] [1] 2398
453 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [OES, VI 신호 및 가상계측 인자] [2] 2404
452 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [Floating sheath] [1] 2405
451 플라즈마 에칭과 표면처리의 차이점 질문드립니다. [Cleaning, sputter etching, RIE] [1] 2409
450 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [플라즈마 생성 분포와 sheath 전기장] [1] 2414
449 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성] [1] 2416
448 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [N2 플라즈마] [1] 2426
447 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문있습니다. [이온과 전자의 속도 차이와 Gate valve의 위치] [1] 2447
446 chamber impedance [장비 임피던스 데이터] [1] 2448
445 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2472
444 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2482
443 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [소자 식각 데미지] [1] 2542
442 플라즈마 관련 기초지식 [DC glow discharge] [1] 2562
441 analog tuner관련해서 질문드립니다. [박막 플라즈마 및 tunning 원리] [1] 2572
440 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해] [1] 2591
439 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [MFC와 residence time] [1] 2612
438 Remote Plasma가 가능한 이온 [Remote plasma와 diffusion] [1] 2630
437 Wafer particle 성분 분석 [플라즈마 세정] [1] 2632
436 plasma etching을 관련 문의드립니다. [반도체 공동 연구소] [1] 2637
435 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [Plasma information variable model] [1] 2654

Boards


XE Login