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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2566
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 13728
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49693
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61644
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80282
280 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 1845
279 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1835
278 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 1827
277 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 1825
276 플라즈마볼 제작시 [1] file 1797
275 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 1780
274 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1767
273 가입인사드립니다. [1] 1767
272 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1712
271 Si Wafer Broken [2] 1712
270 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1697
269 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1687
268 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1675
267 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1670
266 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1654
265 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1636
264 chamber impedance [1] 1600
263 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 1564
262 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1540
261 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1527

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