번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59491
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 74198
257 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 1435
256 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 1427
255 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1395
254 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1394
253 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1393
252 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 1380
251 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 1373
250 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 1371
249 터보펌프 에러관련 [1] 1368
248 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1355
247 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 1353
246 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1340
245 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1338
244 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1335
243 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1327
242 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1326
241 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1322
240 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1296
239 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1294
238 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1281
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