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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[160]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Ta deposition시 DC Source Sputtreing
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PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문
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matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
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324 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1]  | 2271 |
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RIE에 관한 질문이 있습니다.
[1] | 2254 |
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수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다.
[3] | 2213 |
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플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는?
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RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
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안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
[2] | 2169 |
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318 |
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
[1] | 2157 |
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317 |
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 2151 |
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316 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 2133 |
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315 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 2108 |
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314 |
Load position 관련 질문 드립니다.
[1] | 2105 |
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313 |
부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리
[1] | 2097 |
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312 |
Wafer particle 성분 분석
[1] | 2055 |
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질문있습니다.
[1] | 2048 |
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310 |
양극 코로나 방전에 대한 질문입니다.
[1] | 2044 |
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309 |
sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
[1] | 2043 |
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308 |
Si Wafer Broken
[2] | 2037 |
