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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
[1] | 1845 |
279 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 1835 |
278 |
VI sensor를 활용한 진단 방법
[2] | 1827 |
277 |
plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다.
[2] | 1825 |
276 |
플라즈마볼 제작시
[1] | 1797 |
275 |
dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 1780 |
274 |
plasma etching을 관련 문의드립니다.
[1] | 1767 |
273 |
가입인사드립니다.
[1] | 1767 |
272 |
Load position 관련 질문 드립니다.
[2] | 1712 |
271 |
Si Wafer Broken
[2] | 1712 |
270 |
Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련.
[1] | 1697 |
269 |
RPS를 이용한 SIO2 에칭
[1] | 1687 |
268 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 1675 |
267 |
13.56MHz resonator 해석 관련 문의
[1] | 1670 |
266 |
플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다.
[1] | 1654 |
265 |
CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다
[1] | 1636 |
264 |
chamber impedance
[1] | 1600 |
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matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 1564 |
262 |
3 stub 정합에 대해 궁금합니다.
[1] | 1540 |
261 |
유도결합 플라즈마 소스 질문!!!?
[2] | 1527 |