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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65696
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326 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2288
325 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2279
324 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 2267
323 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2265
322 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2249
321 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2209
320 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2206
319 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2171
318 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2166
317 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2138
316 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 2132
315 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2130
314 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2095
313 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2094
312 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 2090
311 Wafer particle 성분 분석 [1] 2050
310 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2042
309 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2041
308 Si Wafer Broken [2] 2030
307 플라즈마볼 제작시 [1] file 2009
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