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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63745
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298 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 2006
297 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 1961
296 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1952
295 Wafer particle 성분 분석 [1] 1926
294 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 1910
293 플라즈마볼 제작시 [1] file 1890
292 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1874
291 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 1870
290 Si Wafer Broken [2] 1843
289 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1803
288 가입인사드립니다. [1] 1799
287 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1792
286 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 1783
285 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 1775
284 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1755
283 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1729
282 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1717
281 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 1703
280 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 1690
279 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1677

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