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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68897
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425 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 3009
424 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2939
423 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2912
422 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2902
421 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2893
420 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2855
419 임피던스 매칭회로 [1] file 2843
418 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2820
417 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2744
416 PR wafer seasoning [1] 2712
415 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2707
414 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2695
413 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2684
412 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2600
411 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2595
410 질문있습니다. [1] 2593
409 Si Wafer Broken [2] 2568
408 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2555
407 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2530
406 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2507

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