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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68758
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92712
419 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2916
418 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2890
417 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2888
416 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2887
415 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2833
414 임피던스 매칭회로 [1] file 2826
413 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2815
412 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2793
411 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2732
410 PR wafer seasoning [1] 2707
409 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2693
408 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2669
407 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2661
406 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2591
405 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2590
404 질문있습니다. [1] 2584
403 Si Wafer Broken [2] 2540
402 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2522
401 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2503
400 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2493
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