번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73323
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105556
433 RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화] [1] 1577
432 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문있습니다. [이온과 전자의 속도 차이와 Gate valve의 위치] [1] 2424
431 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 623
430 수중속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다. [방전 특성과 절연 파괴] [2] file 817
429 자기 거울에 관하여 1237
428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해] [1] 1053
427 Descum 관련 문의 사항. [라디컬 및 이온 생성과 플라즈마 생성 메커니즘] [1] 4365
426 RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화] [1] 897
425 Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선] [1] 1123
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정] [2] 1699
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성] [1] 676
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 6254
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자] [1] 1484
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정] [1] file 681
419 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1310
418 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17601
417 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [광운대 최은하 교수님] [1] 710
416 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 1140
415 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발] [1] 963
414 etching에 관한 질문입니다. [충돌 현상 및 이온화 과정] [1] 2685
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