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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68931
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409 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 2399
408 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2402
407 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2416
406 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2416
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404 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2446
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401 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2507
400 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2510
399 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2539
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397 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2580
396 질문있습니다. [1] 2596
395 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2599
394 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2606
393 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2699
392 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2703
391 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2709
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