번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [253] 76386
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19969
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57058
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68524
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91229
373 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3094
372 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3107
371 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3107
370 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3122
369 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3160
368 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3236
367 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3273
366 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3287
365 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3295
364 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3317
363 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3333
362 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3347
361 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3431
360 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3451
359 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3453
358 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3463
357 ESC Cooling gas 관련 [1] 3479
356 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3486
355 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3522
354 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3543

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